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工业系统事业部 Industrial Systems
半导体系统事业部 Semiconductor Systems
光伏系统事业部 Solar Systems
工业系统部由原来的真空系统分部和PlaTeg等离子体氮化部门组成，专业从事于硬质合金烧结、真空热处理、真空钎焊和扩散焊、金属冶炼、等离子体表面处理等方面的设备研发和制造。
半导体系统部由原来的晶体生长分部的半导体部分和等离子体分部组成，专业从事于半导体行业相关的单晶生长设备、等离子体清洗设备和晶圆测量设备等的研发和制造。
太阳能系统部由原来的晶体生长分部的多晶部分和等离子体分部的太阳能多晶刻蚀部分组成，专业从事于太阳能行业相关的晶体生长及处理等方面的设备研发和制造。
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